バルクCMOSを極低温まで特性評価し、広い温度・バイアス範囲で精度を保つコンパクトモデルを構築しています。計測環境の構築から、シリコンで検証したモデル、機械学習によるコンパクトモデリングまでを扱います。
01. 極低温CMOSの特性評価とコンパクトモデリング
極低温動作はCMOSデバイスの振る舞いを大きく変え、室温向けの既存モデルは深冷温度で成立しなくなる。バルクCMOSを極低温まで計測し、広い温度・バイアス範囲で精度を保つコンパクトモデルを構築している。
そのために研究室の極低温計測環境をゼロから構築し、極低温CMOS計測を自動化するオープンソースツール PyVAR3 を公開した。